1、電機燒壞：主要為電機定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，電機軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機功率加大，引起溫度上升，燒毀電機。這時應先檢查電機軸承，再檢查電機線圈。軸承損壞就更換軸承；電機線圈燒毀則應維修電機，重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴重時，就需更換電機了。

    2、旋片卡阻：主要表現為旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過大，致使電機無法帶動旋片。原因是旋片變形，轉子內的彈簧張開后不能復位，或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過大，導致旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過大。這時就應及時修復旋片和彈簧，若不能修復則應更換。

    抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應打開氣鎮，讓泵運行30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。

    在排除以上兩個因素后，其他原因主要有：泵油污染，需要換油；泵內油過濾器堵塞，引起壓縮注油系統油路不暢，供油不足，導致泵體密封不嚴，這時需要清洗內部油過濾器；配油器閥門變形、磨損或損壞也可導致供油不足，這時應檢查更換配油器閥門；

    長時間使用引起真空泵的旋片磨損或轉子內的彈簧張力不足,，導致吸氣室和排氣室隔離不嚴，從而引起真空泵的抽真空性能下降，這時應當更換旋片和彈簧，并清洗轉子和泵腔；檢查排氣閥門，觀看其動作是否失靈，導致排氣不暢，必要時應更換排氣閥門。

    漏油：旋片式機械真空泵*常見的故障之一，主要發生在真空泵的油窗、油箱密封墊、電機軸承軸封三個位置上，其主要原因是真空泵使用時間過長而引起這些部位老化，密封失效，從而導致漏油。解決辦法：更換老化的油窗、軸封、密封墊和已吸滿泵油的毛氈墊，維修完成后，注油前應用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網，以保持油箱的清潔。